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气流控制系统

LFIX系列气流控制系统由质量流量传感器、热式原件、质量流量调节阀和压力检测组件等组成,它利用流动的流体不同的流量效应而制成,…

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详情内容
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产品优势/ Product advantages
  • 等离子体流动控制设备 产品介绍

       

    LFIX系列气流控制系统由质量流量传感器、热式原件、质量流量调节阀和压力检测组件等组成,它利用流动的流体不同的流量效应而制成,其原理是采用量热法原理测量气体的质量流量,并分别控制各自气体的流量,进入混合器进行精密混合,混合后的气体按需输出给用气点同时设备自带多种测量原件对气体进行检测,保证混合的..性



                                                                                                                                                                                                                                                                                                   流量计调校装置
  •   产品用途

       

    广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.



                                                                                                                                                                                                                                      流量计调校装置
  • 产品特点

        

    气流控制系统能准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,为半导体设备提供氮气控制及氮气温度的控制测量,保证半导体设备能够正常运行。




                                                                                                                                                                                                                                                                                                               流量计调校装置

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