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多组分气体流量控制系统LFIX-4000

六氟化钨投加混合氢气和氩气的装置,能把三种气体按照预定比例的掺混智能化集成系统,具有将各路气体进行流量控制检测、温度控制检…

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产品优势/ Product advantages
  • 多组分气体流量控制系统LFIX-4000 产品介绍

       六氟化钨投加混合氢气和氩气的装置,能把三种气体按照预定比例的掺混智能化集成系统,具有将各路气体进行流量控制检测、温度控制检测、系统抽真空以及氮气吹扫等功能。

  • 多组分气体流量控制系统LFIX-4000  产品用途

       适用于CVD气相沉积设备系统,以及使用六氟化钨特殊气体的行业,主要用于表面材料的研究。

  • 多组分气体流量控制系统LFIX-4000 应用领域

         扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备、微反应装置、混气配气系统等行业。

  • 多组分气体流量控制系统LFIX-4000  产品特点

         1、精度好,自动化程度高
         2、浓度可调控范围广泛
         3、流量设定后可自动调节
         4、可监测气体浓度超限报警

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