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MFC气体流量计做为半导体零部件的特点

所属分类:公司头条    发布时间: 2021-11-22    作者:admin
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       MFC气体流量计做为半导体零部件在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到了半导体设备及技术要求,半导体设备由成千上万的零部件组成,零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性,也是我国在半导体制造能力上向高端化跃升的关键基础要素。

       MFC气体流量计具有高技术密集、学科交叉融合、市场规模占比小且分散,但在价值链上却举足轻重等特点。莱峰流体LF系列MFC气体流量计由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成,它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成,其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

       MFC气体流量计准确可靠的测量气体质量流量,测量精度高、零飘小,测量范围宽,测量的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.