产品优势/ Product advantages

• 数显型气体质量流量控制器M010

  量程范围:0-30SLM，准确度:士1.0%S.P(>35%F.S)士0.5%F.S(≤35%F.S)线性:士0.5%F.S，重复精度:士0.2%F.S，响应时间:(1…4)SEC工作压差:0.05~0.4MPA(2SCCM≤FLOW≤10SLM)、0.1…0.4MPA(10SLM≤FLOW≤30SLM)耐压:3MPA(可选10MPA)，工

  
• 

  产品用途

  用于对微小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，数字电路，可靠性高，安装简单，操作方便。

  

• 

  应用领域

  广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

  

• 
  

• 
  

•