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气体混配器的控制方式及工艺流程

所属分类:行业资讯    发布时间: 2025-07-16    作者:admin
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    气体混配器是用于..混合多种气体的关键设备。其核心目标是实现高精度、稳定、可重复的气体混合。LFIX气体混配器通过质量流量控制器(MFC)或比例阀控制多组分气体流量,实现ppm至百分比级浓度混合。气体混配器支持程序化调节浓度、流量,部分设备可联网远程操作。能实时监测并存储浓度、流量、压力等参数。

     体混配器的控制方式决定了其混合精度和适用场景,四川莱峰流体LFIX气体混配器采用质量流量控制原理:由质量流量传感器、热式原件、质 量流量调节阀和压力检测组件等组成,它利用流动的流体不同的流量 效应而制成,其原理是采用量热法原理测量气体的质量流量,并分别 控制各自气体的流量,进入混合器进行精密混合,将混合后的气体按 需输出给用气点,同时设备自带多种测量原件对气体进行检测,.. 混合的..性。

    LFIX气体混配器能 准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘 小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压 力的影响,广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工 实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力、传感器研究等各领域.