LF系列气体质量流量控制器采用的材料为：不锈钢, 聚四氟乙烯，氟橡胶等耐蚀材。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时，应在定货时声明。使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。

气体质量流量控制器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流，用以扩大通过流量控制器的流量。控制器输出的流量以电压形式输出，满量程为5.00V。控制器一般可以与计算机或与之相兼容的流量显示仪连接。

在使用LF系列气体质量流量控制器时，使用气体必须净化，切忌粉尘、液体油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。如果流量控制器出口接有液体源瓶，应在流量控制器出口安装单向阀，防止液体回流损坏流量控制器。