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气体质量流量控制器是,通过内置热式传感器检测气体流量,将流量信号转化为电信号,再通过控制器对比 “设定流量” 与 “实际检测流量”,调节阀门开度以实现..控制。而 “零点” 是整个测量与控制体系的基准起点—— 若零点偏移,即使实际流量为零,传感器仍会输出非零信号,导致控制器误判 “存在流量”,进而引发控制偏差。
气体流量控制器在使用中。MFC 核心的流量传感器,受材料老化和温漂特性影响,长期使用后 ,有可能发生传感器漂移,控制器内部的放大器、ADC(模数转换器)、信号处理芯片等电子元件,受温度、电压波动影响,会导致电子元件漂移。当流量计出现零点漂移后,可进行零点偏移的调节。零点的调节可以两种方式进行调节。
一种是在流量显示仪表盘上的调零或其他外部调整机构进行调节,叫做外调零。零点的调节可以两种方式进行调节:另一种可以直接从流量控制器上的一键调零键来实现,这叫做内调零。
在调零时应切断气源,将阀控开关找在“关闭”位置,调零必须在开机预热15分钟以扣进行,以待流量计零点的稳定。除调零电位器外,不得轻易调整其它电位器。